日本TAISEI大成技研 真空产业用TU-50LM粉末捕集器

日本TAISEI大成技研 真空产业用TU-50LM粉末捕集器

是一种气体除粉装置，是 Trapac 的进一步发展，配备了漩涡型元件。

气体除粉装置有元件型、旋流型、组合型三种。

元素类型

捕获从元件表面到深层的反应产物（粉末）。

它使用“Trapac Element”，可以收集重量超过其自身重量 10 倍的粉末。

旋流式

它安装在漩涡结构（漩涡处理板）内部。 

“涡流元件”用于在朝向中心的旋流中反复碰撞和吸附废气中的反应产物。

外观和结构

高性能

由于螺旋结构，粉末不会长时间经历压力损失

低损圧

几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合所排除。

大量捕集

粉末分层在安装的涡流元件的表面上。

・主要用途/CVD、蚀刻・一次元件/涡流元件

・二次元件/无・安装位置/真空、排气

TU-50LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-50 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □370mm×H707mm 重量 ： 53kg / 68kg

TU-65LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-65 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □400mm×H1013mm 重量 ： 94kg / 99kg

TU-85LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-85 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □430mm×H1064mm 重量 ： 100kg / 115kg

TU-95LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-95 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □485mm×H1064mm 重量 ： 145kg / 160kg

TU-105LM /LMJ （うずタイプ） 主要用途 ： エッチング・CVD エレメント形式 ： ASD-105 うず 接続口径 ： NW40、NW50 サイズ ： □535mm×H1264mm 重量 ： 180㎏ / 240㎏