TAISEI大成技研 TU-KN100气体粉体去除装置
气体除粉装置有元件型、旋流型、组合型三种。
元素类型
捕获从元件表面到深层的反应产物（粉末）。
它使用“Trapac Element”，可以收集重量超过其自身重量 10 倍的粉末。
旋流式
它安装在漩涡结构（漩涡处理板）内部。
“涡流元件”用于在朝向中心的旋流中反复碰撞和吸附废气中的反应产物。
特征
高性能
去除细小反应产物（细粉）
低损圧
单元密度低，网格空隙大
大量捕集
粉末分层在元件的表面和内部。
TU-KN100
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： 汎用
エレメント形式 ： DL
接続口径 ： NW25
サイズ ： D90mm×H195mm
重量 ： 1.9kg |
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TU-KN200
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： 汎用
エレメント形式 ： EL
接続口径 ： NW40
サイズ ： D140mm×H210mm
重量 ： 4.6kg |
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TU-KN500
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： 汎用
エレメント形式 ： GL
接続口径 ： NW40
サイズ ： D210mm×H260mm
重量 ： 10kg |
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TU-KN500W
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： 汎用
エレメント形式 ： HL
接続口径 ： NW40
サイズ ： D210mm×H390mm
重量 ： 13kg |
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TU-200
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： インプラ
エレメント形式 ： EL
接続口径 ： NW25
サイズ ： D210mm×H210mm
重量 ： 5.3kg |
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TU-250
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： インプラ
エレメント形式 ： FL
接続口径 ： NW40
サイズ ： D210mm×H295mm
重量 ： 6.5kg |
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TU-500
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： インプラ・エッチング
エレメント形式 ： GL
接続口径 ： NW40
サイズ ： D300mm×H267mm
重量 ： 10.0kg |
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TU-500W
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： インプラ・エッチング
エレメント形式 ： HL
接続口径 ： NW40、NW50
サイズ ： D300mm×H415mm
重量 ： 13kg |
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TU-1000
（エレメントタイプ） |  | 主要用途 ： インプラ・エッチング
エレメント形式 ： GL
接続口径 ： NW40、NW50
サイズ ： D300mm×H555mm
重量 ： 16.5kg |
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