SIMCO思美高防爆电离器型号 4214，适用于扩展 ISO 1 级，10 nm
SIMCO思美高防爆电离器型号 4214，适用于扩展 ISO 1 级，10 nm产品信息4214 型离子发生器即使在高纯度 N2 环境中也支持“扩展 ISO 1 级，10nm”的高清洁度，并实现出色的离子平衡。特征■支持超低颗粒 使用单晶硅电极。■独特的清洁机制，不会向外部释放颗粒，确保长时间稳定的清洁度■采用智能控制电路，无需任何调节■内置传感器持续监控离子产生，实现可靠的静电■控制器、电源 内
SIMCO思美高防爆电离器型号 4214，适用于扩展 ISO 1 级，10 nm
产品信息
4214 型离子发生器即使在高纯度 N2 环境中也支持“扩展 ISO 1 级，10nm”的高清洁度，并实现出色的离子平衡。
特征
■支持超低颗粒 使用单晶硅电极。
■独特的清洁机制，不会向外部释放颗粒，确保长时间稳定的清洁度
■采用智能控制电路，无需任何调节
■内置传感器持续监控离子产生，实现可靠的静电
■控制器、电源 内置集成
自动高压关断功能在低流量时保护产品适用于先进的半导体制造工艺
和其他超低颗粒应用24V DC 驱动
规格
| 输入电压 | 24V DC+/-5% 6W（典型值） |
|---|---|
| 离子平衡 | <+/-25V 150mm 距离 40LPM 无管道连接 |
| 静电消除时间 | <10秒 150毫米距离 40LPM 无管道 +/-1kv → +/- 100v 通过带电板监视器 |
| 离子发生方式 | 电晕放电方式 高频交流方式 |
| 清洁度 | ISO Class1，0.1 微米 “扩展 ISO Class1，10nm”* |
| 电极 | 单晶硅可更换 |
| 相应的吹扫气体 | 氮气 > 99.998% |
| 流量 | 40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa) |
| 最大吹扫压力 | 207Kpa（=100LPM流量） |
| 最高气体温度 | 60摄氏度 |
| N2 吹扫连接 | 世伟洛克 3/8" 外径管道 |
| 电离 N2 连接 | 世伟洛克 1/2" OD 管道连接，带 1/4NPT 内螺纹连接器或可选接头28-25710-SC |
| 工作温度限制 | 15至60摄氏度 |
| 信号输出 | 开/关触点报警和低离子输出 |
| 尺寸 | 长 152.4mm x 宽 72.4mm x 深 32mm 不包括管道 |
| 重量 | 640克 |
| 外部的 | 不锈钢 |
| 安装方法 | 背面M5螺丝 螺丝长度必须小于10mm |