真空压力表原理

测量真空压力主要有三种方式：机械现象、气体传输现象和气体电离现象。

1. 力学现象

利用机械现象进行测量可以使用U型管压力计、麦克劳德真空计、隔膜真空计、波登管真空计、重量式真空计等。

U型管压力表

这是一种带有玻璃U型管的差压表，其一侧抽真空并密封。可以从压力差引起的液柱高度读取气体中的压力差，其独特之处在于不受气体类型的影响。这使得可以测量压力的绝对值。

McLeod真空计

一种水银液柱压力表，用于测量高真空压力。它具有压缩气体并扩大其压力的机制，从而可以测量绝对压力。

隔膜真空计 这

是一种通过机械、光学和电学方式读取隔膜压力引起的变形量的方法。

2. 气体输送现象

热传导真空计是利用气体传输现象的真空压力表。它利用了气体的热导率随压力而变化的特性。

热传导真空计的种类很多，如皮拉尼真空计、热敏电阻真空计、热电偶真空计等。关于热传导真空计需要注意的重要一点是，在高真空下，热辐射的影响变得大于热导率的影响。因此，热导真空计的缺点是不能用于高真空测量。

皮拉尼真空计是一种检测电阻变化的测量仪器。在这种方法中，电流通过细铂电阻丝，电桥电路检测由于气体分子碰撞带走热量而引起的铂电阻的变化。

3、气体电离现象

该方法利用气体的电离现象来测量真空度。有热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、辐射真空计等多种类型。

热阴极电离真空计

通过从热阴极发射热电子来电离气体并测量产生的离子。

冷阴极电离真空计

通过冷阴极放电使气体电离并测量离子的方法。

辐射真空计

测量辐射产生的离子。