池田屋原厂供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C10MB

池田屋原厂供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C10MB

池田屋原厂供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C10MB

PILLAR PA-C10MB 属于 PA 系列自动脉压调节器（蓄能器），专为降低风囊泵的脉动而设计，与 PC-10MB 研磨液泵配套使用。接液部为 PFA、PTFE，适用泵系列为 PE 系列与 PK 系列，液体温度 10～180℃（PA-80MB 除外），供给空气压力 0.2～0.5MPaG。

结构与选型要点

该装置通过自动调节气压来吸收泵排出侧的脉动，使出口压力更加稳定。根据配套泵的规格，PA-C10MB 对应 PC-10MB 的 12L/min 排量，脉动压力范围在泵吐出压力 0.1MPaG 以上时控制在吐出压力的 ±12.5% 以内，0.1MPaG 以下时在 0.04MPa 以内。对于 CMP 工艺而言，供液压力的稳定性直接影响抛光速率与晶圆表面质量，因此 PA-C 系列调节器通常与 PC 系列泵成对选型。选型时需确认与泵型号的匹配关系，不同排量的泵对应不同型号的调节器，不可混用。安装时需将调节器连接在泵的排出侧，并确认接口规格与管路匹配。

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