池田屋原厂现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-40MB

池田屋原厂现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-40MB

池田屋原厂现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-40MB

PILLAR PC-40MB 是 PC 系列中排量最大的规格，最大吐出量 48L/min，接液部 PFA、PTFE，使用液温度 10～100℃，供给空气压力 0.2～0.5MPaG。该型号适合大产能 CMP 产线或集中供液系统的研磨液循环。PC-40MB 的泵连接口径为 IN 1-1/2"/OUT φ25，重量约 38kg，安装时需考虑设备承重与管路对接空间。

结构与选型要点

PC 系列的无轴封风囊结构避免了机械密封磨损产生的颗粒污染，对于 CMP 这种对颗粒物敏感的工艺而言是重要的设计特征。大排量型号的流道设计同样注重减少浆料滞留，降低颗粒沉降与团聚的风险。选型时需确认研磨液类型（二氧化硅、氧化铝、铈系等）与浓度是否在适用范围内，铜配线 CMP 用研磨液需另行咨询。与 PC-40MB 配套的自动脉压调节器为 PA-C40MB，两者需成对选型，以稳定出口压力、保障抛光速率的一致性。大排量泵的耗气量与管路压损核算较为关键，建议按制造商提供的流量-压力曲线确认实际工况点。

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