池田屋进口现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-20MB

池田屋进口现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-20MB

池田屋进口现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-20MB

PILLAR PC-20MB 是 PC 系列中排量 24L/min 的规格，接液部 PFA、PTFE，使用液温度 10～100℃，供给空气压力 0.2～0.5MPaG。该型号在 PC-10MB 的基础上提升了浆料输送能力，适合中等产能 CMP 设备的研磨液循环。PC 系列的垂直风囊结构与平滑流道设计，在减少浆料滞留与颗粒团聚方面具有针对性，对于沉降速度较快的金属类研磨液也具备适应性。

结构与选型要点

PC-20MB 的泵连接口径为 IN φ25/OUT φ19，重量约 18kg，安装时需考虑设备承重与管路对接空间。该系列的无轴封风囊结构避免了机械密封磨损产生的颗粒污染，对于 CMP 这种对颗粒物敏感的工艺而言是重要的设计特征。选型时需注意，PC 系列需搭配专用自动脉压调节器 PA-C20MB 使用，以稳定出口压力、降低脉动，保障抛光速率的一致性。研磨液类型（二氧化硅、氧化铝、铈系等）与浓度需在适用范围内确认，铜配线 CMP 用研磨液需另行咨询。安装时吸液侧配管长度建议不超过 2 米，以确保吸入性能。

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