池田屋商社供应Malema 中大流量稳压控制器 CMFC-6032-F308-33VH

CMFC-6032-F308-33VH采用并行式传感布局，专为中大流量流体工况优化，可弱化大流速流体紊流带来的传感干扰，大幅提升全量程测量稳定性，解决传统设备大流量工况下数据波动问题，适配规模化连续生产场景。 

设备量程覆盖250-2500g/min，可满足半导体产线大流量药液输送、批量配比需求，控制精度稳定在设定值±1%，重复性优异，保障大批量制程参数统一性。设备响应速度快，可快速修正流量偏差，维持管路流量恒定，助力提升晶圆加工良品率。

机身集成一体化压力、温度传感器，无需外接监测模块，设备集成度更高，安装布线更简洁，可直接替换传统差压式流量控制器，兼容原有设备安装位与控制系统，改造适配难度低。全PFA高纯接液结构，耐各类化学介质冲刷，无颗粒析出，契合半导体高端制程洁净标准。

设备采用0-5VDC电压信号输入输出，信号分辨率高，适配高精度微量调节与大流量稳流双重需求。高速步进电机驱动隔膜阀，调控线性度好，流量调节平稳，超调量低。设备防护等级IP65，适配车间复杂工况，温压耐受范围贴合工业生产环境。主要应用于半导体大型湿法清洗、蚀刻、电镀等中大流量制程，实现流体流量、压力、温度一体化精准管控。