日本原装系列63.1 高压蝶阀控制阀 61328-KACN
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACN，是专为精密真空工艺打造的高性能调控阀门，广泛适配半导体、精密光电、材料制备等高端制程场景，尤其适用于半导体CVD化学气相沉积、ALD原子层沉积等高精细工艺。设备采用DN25（1英寸）通径与ISO-KF标准法兰，适配性广泛，可兼容多数工业真空管路。阀体采用铝合金材质，结构紧凑轻巧，整机重量仅2.2kg，安装便捷，适配各类设备紧凑布局需求。
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACN，是专为精密真空工艺打造的高性能调控阀门，广泛适配半导体、精密光电、材料制备等高端制程场景，尤其适用于半导体CVD化学气相沉积、ALD原子层沉积等高精细工艺。设备采用DN25（1英寸）通径与ISO-KF标准法兰，适配性广泛，可兼容多数工业真空管路。
阀体采用铝合金材质，结构紧凑轻巧，整机重量仅2.2kg，安装便捷，适配各类设备紧凑布局需求。阀门搭载步进电机驱动，搭配EtherCAT高速通讯接口与双传感器，支持SPS、PFO组态控制，依托车载自研控制程序，可自主计算阀板精准位置，快速匹配设定压力，实现稳定闭环调控。
且本品具备出色的调控性能与工况适配能力，启闭响应速度可达90毫秒，精准复刻原厂0.1秒级快速控制优势，搭配0.15L/s–22L/s宽域流导调节，节流控制细腻均匀，可满足高精度工艺的细微压力调控需求。设备压力适配区间覆盖1×10⁻⁸mbar至1.2bar，搭配FKM密封结构，泄漏率低至1×10⁻⁹L/s，真空密闭性稳定。专为含颗粒物、杂质堆积的严苛下游工艺设计，可在高颗粒载荷工况下持续稳定运行，保持设备完整功能，适配复杂工业制程环境。
该系列阀门经大量高要求工况实测应用，运行稳定性出色，阀体耐受温度可达150℃，可适配高温工艺场景，支持200万次启闭循环长效运行，大幅降低运维成本。产品支持多种结构与算法选配，可适配多元化真空设备集成需求，凭借坚固结构、简易安装与低维护特性，有效提升设备运行时长与制程稳定性。除核心半导体工艺外，也可适配光学真空镀膜、新能源材料制备、高校及科研院所真空实验设备、精密仪器真空控制系统等场景，可满足各类严苛工艺的稳定控压需求。
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