日本VAT原装系列63.1 高压蝶阀控制阀 61328-KACX
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACX，是面向精密真空管路系统开发的高性能调控阀门。设备采用DN25（1英寸）标准通径与ISO-KF法兰接口，通用性出色，可适配多数工业真空管路配套安装。阀体采用铝合金材质一体成型，整体结构紧凑、自重轻盈，整机仅2.2kg，占用空间小，便于现场装配与后期维护保养。阀门搭载步进电机驱动单元，搭配EtherCAT高速通讯端口与双传感器检测结构，支持
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACX，是面向精密真空管路系统开发的高性能调控阀门。设备采用DN25（1英寸）标准通径与ISO-KF法兰接口，通用性出色，可适配多数工业真空管路配套安装。阀体采用铝合金材质一体成型，整体结构紧凑、自重轻盈，整机仅2.2kg，占用空间小，便于现场装配与后期维护保养。阀门搭载步进电机驱动单元，搭配EtherCAT高速通讯端口与双传感器检测结构，支持SPS、PFO组态控制，信号传输稳定、联动响应高效，可适配自动化产线的高精度闭环调控工况。
该阀门拥有跨度宽泛的工况适配能力，压力适用区间涵盖1×10⁻⁸mbar超高真空环境至1.2bar常规压力环境，阀板承压差可达1bar，可适配多场景真空工艺作业。设备采用FKM高品质密封结构，密闭性能优异，泄漏率低至1×10⁻⁹L/s，能够长期维持管路真空度稳定。阀体启闭动作高效迅捷，标准启闭时长仅90毫秒，在氮气分子流工况下，流导调控区间覆盖0.15L/s–22L/s，调控梯度细腻、流量控制均匀，可充分满足精密工艺的严苛调压控流需求。
产品具备优良的环境适配能力与长效使用性能，阀体最高耐受温度可达150℃，可适应多数工业高温工艺场景。设备机械稳定性出众，可实现200万次启闭循环免维护运行，大幅减少运维频次，降低长期使用成本。依托成熟的电控逻辑、精密的阀体构造与可靠的密封体系，设备运行工况平稳、调控精度稳定，广泛适用于半导体工艺、真空镀膜、科研实验、精密设备制造等各类真空控制系统。
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