日本原装系列63.1 高压蝶阀控制阀 61328-KACQ
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACQ，是适配精密真空管路系统的专用调控阀门。设备采用DN25（1英寸）通用管路规格，搭配ISO-KF标准法兰，通用性良好，可适配多数工业真空管路设备安装使用。阀体采用铝合金材质制成，结构紧凑、体量轻便，整机重量仅2.2公斤，便于现场布设与后期检修维护。阀门搭载步进电机驱动组件，配备DeviceNet通讯接口与双传感器，支持SPS、PFO控制器
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACQ，是适配精密真空管路系统的专用调控阀门。设备采用DN25（1英寸）通用管路规格，搭配ISO-KF标准法兰，通用性良好，可适配多数工业真空管路设备安装使用。阀体采用铝合金材质制成，结构紧凑、体量轻便，整机重量仅2.2公斤，便于现场布设与后期检修维护。阀门搭载步进电机驱动组件，配备DeviceNet通讯接口与双传感器，支持SPS、PFO控制器组态，信号传输平稳，可实现自动化精准调控作业。
本品工况适配范围广泛，工作压力区间可达1×10⁻⁸mbar至1.2bar，阀板耐受压差≤1bar，可适配从超高真空到常规压力的多种作业场景。阀门采用FKM密封结构，密封性能稳定，泄漏率低至1×10⁻⁹L/s，能够稳定维持真空系统的密闭状态。设备启闭反应灵敏，标准启闭时长仅90毫秒；在氮气分子流工况下，流导可控区间为0.15L/s至22L/s，调控区间充足、流量调节细腻，可满足各类高精度真空调压的作业需求。
产品具备良好的环境适配性与耐用性，阀体耐受温度最高可达150℃，可适配多数工艺高温作业环境。设备使用寿命持久，可完成200万次启闭循环后再进行首次维护，有效减少运维频次，降低设备使用成本。依托成熟的集成控制系统与精密阀体结构，设备运行状态平稳，压力调控精度均匀，可广泛应用于半导体工艺、真空镀膜、科研实验、精密设备制造等真空控制场景，是工业真空管路压力调控的优质配套设备。
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