日本VAT原装系列61.3高压蝶阀控制阀 61328-KACN
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACN，为DN25（1英寸）规格精密真空控制阀门，适配各类高精度真空工艺管路系统。产品采用ISO-KF标准法兰结构，搭配铝合金阀体，结构轻便且适配性广，整机重量仅2.2kg，便于现场安装与管路布局。阀门搭载步进电机驱动结构，配置CC-Link通讯接口与双传感器，支持SPS与PFO控制器组态，可实现稳定的信号传输与精准工况调控。另外本品工况适配范
日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀61328-KACN，为DN25（1英寸）规格精密真空控制阀门，适配各类高精度真空工艺管路系统。产品采用ISO-KF标准法兰结构，搭配铝合金阀体，结构轻便且适配性广，整机重量仅2.2kg，便于现场安装与管路布局。阀门搭载步进电机驱动结构，配置CC-Link通讯接口与双传感器，支持SPS与PFO控制器组态，可实现稳定的信号传输与精准工况调控。
另外本品工况适配范围宽泛，工作压力区间覆盖1×10⁻⁸mbar至1.2bar，阀板耐受压差≤1bar，可适配超高真空至常规压力的多元工况。密封结构采用FKM材质，密封性能稳定，阀体泄漏率低至1×10⁻⁹L/s，有效保障真空系统密闭性。设备动作响应迅速，标准启闭时长仅90毫秒，氮气分子流下可控流导区间为0.15L/s至22L/s，流量调节梯度细腻，可满足精细化压力调控需求。
产品具备良好的工况适配与耐久性能，阀体耐受温度可达150℃，适配多数工艺高温环境。设备耐久表现优异，可实现200万次启闭循环后开展首次维护，有效降低设备运维频次与使用成本。依托成熟的集成控制结构与精密阀体设计，阀门运行工况稳定、调控精度均匀，广泛适配半导体工艺、真空镀膜、科研实验、精密设备制造等高端真空控制场景，是工业真空管路压力调控的适配性设备。
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