日本VAT 61.3系列高压蝶阀控制阀 61328-KACH

VAT 61.3 系列高真空蝶阀控制阀，型号 61328-KACH，DN25（1 英寸）规格，采用 ISO-KF 法兰、铝阀体，搭载步进电机驱动，配置 RS232 通讯接口与双传感器，内置 SPS 与 PFO 控制器。压力覆盖范围 1×10⁻⁸mbar 至 1.2bar，阀板允许压差≤1bar，FKM 材质密封，单次维护前可完成 200 万次启闭循环，阀门开关动作最快可达 90 毫秒。氮气分子流下最大流导 22L/s，最小可控流导 0.15L/s，泄漏率 1×10⁻⁹L/s，阀体最高耐受温度 150℃，整机重量 2.2kg，具备快速响应、压力调节稳定的特点，适配真空系统下游压力闭环控制。

一、企业背景与技术优势‌

VAT 集团总部位于瑞士，在日本设立分支机构，深耕真空阀领域数十年，专注高精密真空组件研发制造。核心技术优势体现在阀板节流调节结构、集成式步进电机驱动与传感控制系统，可在含微粒的复杂工艺环境下维持压力控制稳定，抗污染能力强，控制响应迅速。

二、核心产品线

核心产品线覆盖高真空闸阀、蝶形压力控制阀、角阀、传输阀等，规格覆盖从小口径到大型真空管路，可适配超高真空到粗真空区间。

‌三、行业应用与中国市场‌

产品多用于半导体 CVD、ALD 薄膜沉积、真空镀膜、科研真空设备、光伏电池制备等高端制造场景。在中国市场，VAT 设立本地服务团队，提供产品供应、现场技术支持与维修保养，服务国内半导体、精密镀膜、科研院所等客户，支撑国内高端真空工艺设备配套需求。

‌四、企业管理与社会责任‌

企业管理层面，VAT 坚持精密制造品控体系，全流程管控零部件加工与阀门装配；在社会责任方面，推进生产环节能源优化与物料回收，降低生产过程的环境影响，持续完善产品全生命周期的环保管理。

如需进一步了解产品技术参数或选型前可咨询确认实时库存规格。