日本VAT原装61.3系列高压蝶阀控制阀 61328-KACF
日本VAT原装进口61.3系列高压蝶阀控制阀 61328-KACF61.3 HV蝶式控制阀是一款面向半导体、精密真空制程的高性能下游压力控制阀门，主打极速响应、高精度稳压、恶劣工况长效稳定，适配CVD、ALD等对气压精度严苛的精细工艺，可在全域复杂工况下保持稳定优异的压力控制表现。设备搭载0.1秒级高精度动作控制器，实际启闭仅需90毫秒，依托阀板节流结构动态调节气体流导，配合集成式智能压力控制器，
日本VAT原装进口61.3系列高压蝶阀控制阀 61328-KACF
61.3 HV蝶式控制阀是一款面向半导体、精密真空制程的高性能下游压力控制阀门，主打极速响应、高精度稳压、恶劣工况长效稳定，适配CVD、ALD等对气压精度严苛的精细工艺，可在全域复杂工况下保持稳定优异的压力控制表现。设备搭载0.1秒级高精度动作控制器，实际启闭仅需90毫秒，依托阀板节流结构动态调节气体流导，配合集成式智能压力控制器，可实时计算最优阀板位置，快速贴合设定压力，杜绝压力漂移与滞后问题，实现毫秒级精准稳压。
针对行业普遍存在的高颗粒载荷、工艺碎屑堆积等棘手工况，61.3 HV做了专项结构优化，即便长期处于杂质较多的严苛下游环境，也能保持全功能正常运行，无惧积尘污染、不卡顿、不失准。该系列阀门历经数千项高要求工业场景实战落地，工况适配性与可靠性经过充分验证。整机结构坚固扎实，标配DN25规格、ISO-KF标准法兰，主体采用轻量化铝合金材质，整机仅重2.2kg，支持直装集成，后期维护简单便捷，有效降低设备运维难度。
产品硬件参数表现出众，真空控制范围覆盖1×10⁻⁸MBAR至高1.2bar，板体耐受压差≤1bar，泄漏率低至1×10⁻⁹LS⁻¹，最高耐受温度可达150℃，可控流导区间宽泛，适配多元精密气流控制需求。设备采用步进电机驱动，搭载双传感器与DeviceNet接口、SPS控制配置，依托本地车载软件独立运算运行，搭配自适应、固定PI下游、软泵等多种控制算法。同时支持不锈钢材质、定制法兰、保温集成加热器及FFKM/FKM弹性体选配，可无缝适配各类真空设备集成。依托稳定的工艺控制水准、200万次长效服务寿命、稳定的设备稼动率，有效优化制程品质，降低设备全周期运营成本。