日本原装VAT 61.3系列高压蝶阀控制阀 61328-KAAQ

日本原装VAT 61.3系列高压蝶阀控制阀 61328-KAAQ

61.3 HV 蝶式控制阀，面向半导体精密真空制程开发，可在多样化工艺工况下维持稳定的压力调控能力。而61328-KAAQ这款是以 DN25（1 英寸）规格为例，阀体选用铝材，配置 ISO-KF 法兰，搭载步进电机执行机构；配备 DeviceNet 接口与双传感器，控制器采用 SPS 配置，硬件架构成熟。阀门动作响应迅速，单次开关时长典型值 90 毫秒，搭配 0.1 秒高速动作控制器，定位精度高，能够满足 CVD、ALD 薄膜沉积工艺对压力精细调控的严苛要求，是薄膜制备环节压力管控的可靠组件。阀板作为核心节流组件，动态调整开度以改变流导；集成压力控制单元实时演算阀板位置，驱动系统快速逼近目标设定压力，缩短压力稳定时间，保障薄膜制程的一致性。

阀门可适配压力区间从 1×10⁻⁸ mbar 至 1.2 bar（腔体），阀板承受压差不超过 1 bar；氮气分子流下，最大流导可达 22 L/s，最小可控流导 0.15 L/s，调控区间覆盖范围广。密封件采用 FKM 材质，整机泄漏率控制在 1×10⁻⁹ L/s，阀体允许最高工作温度≤150℃，设备自重 2.2 公斤（4.85 磅），结构轻量化，便于现场安装。循环至首次维护可达 2,000,000 次，耐久表现优异。

产品针对高颗粒负载的下游气流工况专项优化，尤其适配工艺反应后带有颗粒、碎屑易沉积的真空管路环境，即便在颗粒浓度高、沉积物持续累积的工况下，阀门仍可维持全功能不间断运行。61.3 系列已在大量高规格真空产线落地应用，适配多种差异化工艺条件，保持持续稳定的运行表现。阀体采用稳固结构设计，支持直装部署，减少现场安装工作量；维护周期长，降低产线停机维护耗时，适配产线长期连续作业。

阀体基材、表面处理、弹性密封件、法兰接口、非标尺寸以及定制控制算法（自适应、固定 PI 下游 / 软泵）提供丰富选型，可灵活适配各类真空系统集成需求。阀体除铝材外，也可选用不锈钢材质，标配 ISO-KF、ISO-F 法兰接口，可以集成客户专用的法兰，可搭载带保温层的集成加热器等拓展组件；密封弹性体默认配置 FKM，也可依据工况需求选用 FFKM 材质，适配不同工艺气体与温度环境。

核心特性

压力调控稳定

高速动作响应 

机载本地控制程序 

复杂工艺工况稳定运行

应用价值

支撑制程精细化调控

保障设备持续稼动

优化整体运维开销