日本VAT原装61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAN
日本VAT原装61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAN61.3 HV 蝶式控制阀面向薄膜沉积工艺，多工况稳定压力调控真空阀、适配 CVD、ALD 等高颗粒下游工况、面向半导体精密真空制程开发，可在多样化工艺工况下维持稳定的压力调控能力。搭载 0.1 秒高速动作控制器，调节响应迅速、定位精度高，能够满足 CVD、ALD 薄膜沉积工艺对压力精细调控的严苛要求，是薄膜制备环节压力管控的优选组件。
日本VAT原装61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAN
61.3 HV 蝶式控制阀面向薄膜沉积工艺，多工况稳定压力调控真空阀、适配 CVD、ALD 等高颗粒下游工况、面向半导体精密真空制程开发，可在多样化工艺工况下维持稳定的压力调控能力。搭载 0.1 秒高速动作控制器，调节响应迅速、定位精度高，能够满足 CVD、ALD 薄膜沉积工艺对压力精细调控的严苛要求，是薄膜制备环节压力管控的优选组件。阀板作为核心节流组件，动态调整开度以改变流导；集成压力控制单元实时演算阀板位置，驱动系统快速逼近目标设定压力，缩短压力稳定时间，保障薄膜制程的一致性。
产品针对高颗粒负载的下游气流工况专项优化，尤其适配工艺反应后带有颗粒、碎屑易沉积的真空管路环境，即便在颗粒浓度高、沉积物持续累积的工况下，阀门仍可维持全功能不间断运行。61.3 系列已在大量高规格真空产线落地应用，适配多种差异化工艺条件，保持持续稳定的运行表现。阀体采用稳固结构设计，支持直装部署，减少现场安装工作量；维护流程简洁，降低产线停机维护耗时，适配产线长期连续作业。
阀体基材、表面处理、弹性密封件、法兰接口、非标尺寸以及定制控制算法（自适应、固定 PI 下游 / 软泵）提供丰富选型，可灵活适配各类真空系统集成需求。阀体提供铝合金、不锈钢两种基材选择，标配 ISO-KF、ISO-F 法兰接口，可以集成客户专用的法兰，可搭载带保温层的集成加热器等拓展组件；密封弹性体默认配置 FKM，也可依据工况需求选用 FFKM 材质，适配不同工艺气体与温度环境。
核心特性
压力调控稳定、高速动作响应、机载本地控制程序、复杂工艺工况稳定运行。
应用价值
支撑制程精细化调控、保障设备持续稼动、优化整体运维开销。