日本VAT 61.3系列 原装高压蝶阀控制阀61328-KAAK

日本VAT 61.3系列 原装高压蝶阀控制阀61328-KAAK

61.3 HV 蝶式控制阀，在各类工况条件下均能呈现稳定的压力控制表现。产品搭载响应快速、定位准确的动作控制器（0.1 秒），可满足 CVD 与 ALD 工艺对压力精细调节的需求，是精密制程控制的适配选择。阀板作为节流核心部件，通过调节开度改变流导特性；集成式压力控制器智能运算阀位参数，助力系统高效趋近设定压力值。

本品专为下游高颗粒气流工艺打造，即便面对高颗粒载荷、碎屑易堆积的工况，仍可保持完整功能稳定运行。61.3 系列已广泛应用于众多高要求场景，在多样工艺环境中持续展现可靠的运行状态。产品结构扎实，支持直接安装，维护流程简便，综合表现适配工业现场长期使用需求。

阀体材质、表面处理、弹性体规格、法兰连接、定制尺寸及专用控制算法（自适应、固定 PI 下游 / 软泵）等多元配置，可简化不同真空场景的集成适配工作。材质提供铝制与不锈钢可选，标准适配 ISO-KF、ISO-F 法兰，可以集成客户专用的法兰，可集成保温层、一体化加热器等功能；密封弹性体标配 FKM，亦可按需选配 FFKM 等规格。

核心特色
一、压力控制表现稳定

二、动作响应迅捷精准 

三、机载软件本地运行 

四、恶劣工况持续可靠

核心价值

助力工艺精细调控、保障设备长效运行、合理控制运维成本。