日本原装进口VAT 61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAH

日本原装进口VAT 61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAH

61.3 HV 蝶式控制阀具备稳定的压力控制能力，可在多种工况下保持稳定运行。产品配置响应速度为 0.1 秒的动作控制器，控制过程快速且准确，能够满足 CVD、ALD 工艺对压力精细调节的使用要求。阀板承担节流功能，通过改变阀门开启状态调整流导性能；集成压力控制器可根据设定参数计算阀位需求，帮助系统较快达到目标压力状态。

该产品面向高颗粒工况的下游流程设计，在颗粒含量较高、易出现碎屑堆积的使用环境中，仍可保持稳定运行状态。而61.3 HV 系列已应用于多个对运行要求较高的场景，在不同工艺条件下均表现出良好的使用稳定性。结构设计牢固，支持直接安装方式，维护流程简便，可适配多种现场使用需求。

产品提供丰富的配置选择，阀体材质、表面处理方式、弹性体规格、法兰连接形式、尺寸规格均可根据需求调整，同时支持自适应、固定 PI 下游、软泵等控制算法，便于在不同真空应用场景中完成系统集成。材质可选铝制或不锈钢，标准配置 ISO-KF、ISO-F 法兰，也可根据客户需求定制法兰形式，还可集成保温层、加热器等功能部件。弹性体标配 FKM，也可根据需求选用 FFKM 等规格。

61.3 HV 蝶式控制阀压力控制表现稳定，动作响应迅速，机载软件可本地独立运行，在复杂工艺环境下具备良好的运行稳定性，有助于提升工艺控制水平，延长设备有效运行时间，降低使用过程中的运维成本。