日本VAT进口 61.3 系列 高压蝶阀控制阀 61328-KAAF
日本VAT进口 61.3 系列 高压蝶阀控制阀 61328-KAAF全域工况下的卓越压力控制61.3 HV 蝶式控制阀,以极致性能重塑压力控制标准。搭载 0.1 秒级快速精准动作控制器,响应迅捷、调控精准,成为 CVD、ALD 工艺中精密压力调控的理想之选。阀板作为核心节流元件,精准调节阀门开度与流导特性;集成式压力控制器智能运算阀位参数,快速锁定目标压力,实现高效稳定调控。专为高颗粒、严苛下游气
日本VAT进口 61.3 系列 高压蝶阀控制阀 61328-KAAF全域工况下的卓越压力控制61.3 HV 蝶式控制阀,以极致性能重塑压力控制标准。搭载 0.1 秒级快速精准动作控制器,响应迅捷、调控精准,成为 CVD、ALD 工艺中精密压力调控的理想之选。阀板作为核心节流元件,精准调节阀门开度与流导特性;集成式压力控制器智能运算阀位参数,快速锁定目标压力,实现高效稳定调控。专为高颗粒、严苛下游气
日本VAT进口 61.3 系列 高压蝶阀控制阀 61328-KAAF
全域工况下的卓越压力控制
61.3 HV 蝶式控制阀,以极致性能重塑压力控制标准。搭载 0.1 秒级快速精准动作控制器,响应迅捷、调控精准,成为 CVD、ALD 工艺中精密压力调控的理想之选。阀板作为核心节流元件,精准调节阀门开度与流导特性;集成式压力控制器智能运算阀位参数,快速锁定目标压力,实现高效稳定调控。
专为高颗粒、严苛下游气流工艺量身打造,即便面对高颗粒载荷、碎屑堆积的恶劣工况,依旧保持全功能稳定运行,性能不打折、运行不间断。历经数千项高要求应用场景实战验证,在各类复杂工艺条件下,均展现出卓越可靠品质。
坚固耐用的结构设计、灵活便捷的直装方案,搭配简易维护特性,61.3 HV 系列以全方位优势,适配各类严苛使用需求。阀体材质、表面处理、弹性体选型、法兰连接、特殊尺寸及定制化控制算法(自适应、固定 PI 下游 / 软泵)等多元配置,轻松适配各类真空应用,实现无缝集成。
材质可选铝合金与不锈钢,标准适配 ISO-KF、ISO-F 法兰,支持客户专属法兰定制,更可集成保温层、一体化加热器等特殊功能;弹性体标配 FKM,亦可按需选配 FFKM/FKM 等规格,全面满足个性化应用需求。
61.3 HV 蝶阀核心优势、核心特色
一、压力控制性能卓越
二、超快速响应操作
三、机载软件本地独立运行
四、恶劣工况下稳定可靠
核心价值
实现更精准的工艺把控 、保障高稼动率与无衰减性能、有效降低全周期运营成本。