日本VAT 61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAE
日本VAT 61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAE在各种条件下都表现出色的压力控制61.3 HV蝶式控制阀提供了卓越的压力控制性能。凭借其快速且精确的动作控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工艺中精细控制的完美解决方案。该板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。61.3的集成压力控制器计算出所需的板材位置，以尽快达到设定压力。它特别设计用于气流中颗粒的严苛下游过程。尽管设计上存在高
日本VAT 61.3系列 高压蝶阀控制阀61328-KAAE
在各种条件下都表现出色的压力控制
61.3 HV蝶式控制阀提供了卓越的压力控制性能。凭借其快速且精确的动作控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工艺中精细控制的完美解决方案。该板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。61.3的集成压力控制器计算出所需的板材位置，以尽快达到设定压力。
它特别设计用于气流中颗粒的严苛下游过程。尽管设计上存在高颗粒载荷和碎片堆积，61.3号机仍保持全功能运行。
61.3系列已在数千个高要求的应用中安装，且在各种工艺条件下取得了卓越的可靠性。凭借坚固的设计和直接安装选项，以及更简便且易于维护，61.3系列在各方面都令人信服。
车体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下游/软泵）等多种设计选项简化了在各种真空应用中的集成。
61.3 HV蝶式控制阀有铝制或不锈钢材质，标准法兰接头为ISO-KF和ISO-F。可以集成客户专用的法兰，以及带有保温层的集成加热器等特殊功能。各种FFKM/FKM弹性体可按需提供（FKM为标准）。
61.3 HV 蝶阀的主要特点
特色：
压力控制极佳
非常快速的操作
本地运行的车载软件
在恶劣工艺条件下的可靠运行
福利：
更好的工艺控制
高运行时间/不受限制的性能
低运营成本