池田屋进口 OTSUKA/大塚电子 光谱椭偏仪 FE-5000

池田屋进口 OTSUKA/大塚电子 光谱椭偏仪 FE-5000

池田屋进口 OTSUKA/大塚电子 光谱椭偏仪 FE-5000

OTSUKA/大塚电子（Otsuka Electronics）推出的光谱椭偏仪，型号 FE-5000，可在紫外至可见光（250-800nm）波长区域中测量椭圆参数，实现对纳米级多层薄膜的厚度与光学常数分析。该产品通过超过 400ch 的多通道光谱实现快速椭偏光谱测量，结合可变反射角测量功能，可对薄膜进行详细的光学特性解析。适用于半导体、光学镀膜及功能性薄膜领域的膜厚与光学常数分析。

型号构成与测量规格

FE-5000 样品尺寸兼容 200mm×200mm，入射（反射）角度范围为 45° 至 90°，可通过可变反射角测量功能对不同膜厚与结构的样品进行优化角度测量。测量波长范围为 250-800nm（可在该波长范围内进行选择）。入射点直径约为 φ1.2mm（取决于短轴角度，可选配微小光斑规格）。平台驱动方式可选手动或自动，自动平台适用于批量样品的自动化测量场景。可兼容装载机（Loader），适用于产线自动化测量需求。

测量原理与分析方法

该产品基于椭偏光谱法，通过测量偏振光在样品表面反射后的偏振态变化（椭圆参数 Ψ 和 Δ），利用多通道光谱快速获取椭偏光谱数据。结合光学模型拟合分析，可精确计算薄膜的厚度、折射率（n）及消光系数（k）等光学常数。超过 400ch 的多通道光谱检测器可实现快速椭偏光谱测量，缩短单点测量时间。可变反射角测量功能可针对不同薄膜结构选择入射角度，提高分析精度。

电气与环境规格

外形尺寸为 1300mm（宽）×900mm（深）×1750mm（高），质量约 350kg（自动平台配置时）。需在恒温恒湿环境中使用以保证测量稳定性。

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

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