池田屋进口 OTSUKA/大塚电子 Smart膜厚仪 SM-110PO

池田屋进口 OTSUKA/大塚电子 Smart膜厚仪 SM-110PO

池田屋进口 OTSUKA/大塚电子 Smart膜厚仪 SM-110PO

OTSUKA/大塚电子（Otsuka Electronics）推出的 Smart 膜厚仪，型号 SM-110PO，是一款高精度便携式膜厚测量仪。该产品采用反射分光法（光学干涉法）进行薄膜厚度测量，可随身携带至生产现场使用。操作简便，即使初次使用者也能较快上手；虽为手持设备，仍可实现高精度测量；支持对三维样品进行无损检测。该设备适用于半导体、光学镀膜及功能性薄膜领域的膜厚检测与品质管理。

型号构成与测量规格

SM-110PO 为专业版型号，采用反射分光法（光学干涉法）测量原理。测量波长范围为 400-1000nm，覆盖可见光至近红外波段。测量膜厚范围基于样品折射率 1.6 计算为 0.1-100μm（单层）及 1-100μm（多层），支持最多 3 层多层膜结构分析。测量重复性为 2.1σ < 0.01μm（SiO₂ 1μm 标准），具有良好的测量稳定性。测量光斑直径为 φ1mm 及以下。数据输出格式支持导出为 CSV 文件并保存至 U 盘，便于数据存档与后续分析。

便携规格与操作特点

主机外形尺寸约为 138mm（宽）×198mm（深）×54mm（高，含突出部分），质量约 1.1kg，具备良好的便携性。设备可携带至生产现场使用，无需将样品带回实验室。手持状态下仍能保持高精度测量，降低了操作人员技能差异对测量结果的影响。对于三维形状或固定样品，可进行非破坏性测量，适用于成品或半成品的在线抽检。显示功能方面，专业版支持反射率及功率谱显示，便于用户进行光谱数据确认与分析。

选配附件

该产品提供两种选配附件：笔型探头（ φ6mm），能够测量狭窄区域或异形样品，适用于凹槽、小孔等受限空间的膜厚测量；非接触式载台，对于湿膜或半导体晶圆等不宜接触的样品，可通过自由设定探头位置进行非接触式测量，避免样品污染或损伤。

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