池田屋现货！荏原 风冷干式真空泵 EV-PA500
一、产品概述荏原制作所（EBARA CORPORATION）推出的 EV-PA 系列风冷干式真空泵，是一款以小型、轻量、节能为特点的清洁用途真空泵。型号 EV-PA500 是该系列中大流量款，抽速达 500 L/min，极限压力可达 0.5 Pa（气镇关闭时）。该泵采用空气冷却设计，无需冷却水，仅需单相 100V-240V 电源即可工作，具有即插即用的便携性，适用于各种分析仪器、便携式检漏仪及需要
一、产品概述
荏原制作所（EBARA CORPORATION）推出的 EV-PA 系列风冷干式真空泵，是一款以小型、轻量、节能为特点的清洁用途真空泵。型号 EV-PA500 是该系列中大流量款，抽速达 500 L/min，极限压力可达 0.5 Pa（气镇关闭时）。该泵采用空气冷却设计，无需冷却水，仅需单相 100V-240V 电源即可工作，具有即插即用的便携性，适用于各种分析仪器、便携式检漏仪及需要反复搬动的研究和试验用途。
二、产品规格
三、核心设计特征
1. 全干式·无油运行
采用多级非接触式罗茨转子结构，腔体无需润滑油，排气无油雾污染，可获得洁净真空，有效避免工件或腔体受到油污污染。
2. 风冷·即插即用
无需冷却水配管，所需公用工程仅为电源，可在单相 100V-240V 宽电压下运行，适合在实验室或设备台面上直接摆放使用。
3. 非接触式密封结构
旋转部件采用非接触式设计，无易损油封，无需定期更换密封件，使用寿命长，可实现免维护运行。
4. 小型·轻量·便携
重量仅 21kg，带提手设计，可在有限空间内安装，适合需要频繁移动或在不同设备间切换使用的场景。
5. 低振动·低噪音
运行噪音约 58dB（A），接近实验室低噪级标准，适合在安静环境中使用。
6. 腔体防腐涂层（可选）
可耐受微量水汽及弱酸弱腐蚀性气体，标配气镇功能以有效排出水蒸气。
四、典型应用场景
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 分析仪器 | 电子显微镜（SEM）、质谱仪、检漏设备、表面分析仪器的前级泵 |
| 半导体制造 | 小型 Load Lock 腔体、微型镀膜、等离子清洗 |
| 锂电/化工 | 小型真空干燥、试样脱泡、溶剂蒸馏 |
| 通用实验室 | 小型真空封装、小型腔体负压抽吸 |
五、与同系列型号对比（EV-PA250 vs EV-PA500）
| 项目 | EV-PA250 | EV-PA500 |
|---|---|---|
| 抽速 | 230 L/min（气镇开：200 L/min） | 500 L/min（气镇开：430 L/min） |
| 电源容量 | 0.45 kVA | 0.66 kVA |
| 功率（极限压力时） | 约 0.24 kW | 约 0.27 kW |
| 重量 | 约 16 kg | 约 21 kg |
六、选型要点
七、注意事项
泵需在洁净环境下使用，抽除腐蚀性气体或粉尘时建议配置前级过滤器
该泵为干式罗茨泵，不适用于大量水蒸气或可凝性气体的抽除场景
首次使用前建议通读产品说明书，确认电源电压与现场匹配
八、总结
荏原 EV-PA500 风冷干式真空泵通过小型轻量化设计、风冷即插即用便利性及非接触式无油密封结构，为分析仪器、半导体设备及实验室研究等领域提供了一套高洁净度、低维护的真空解决方案。其 500 L/min 的抽速、0.5 Pa 的极限压力、仅 21kg 的重量及单相宽电压供电，适用于需要洁净真空、便携移动及无需冷却水的多样化应用场景。