神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台
神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台产品概述:ZM07A-S3K是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高分辨率手动Z轴平台,采用微调杠杆式驱动系统,配备专属设计的FPP03-13精细螺距定位器,实现亚微米级的垂直方向手动定位。该平台适用于显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴手动调节的应用场
神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台产品概述:ZM07A-S3K是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高分辨率手动Z轴平台,采用微调杠杆式驱动系统,配备专属设计的FPP03-13精细螺距定位器,实现亚微米级的垂直方向手动定位。该平台适用于显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴手动调节的应用场
ZM07A-S3K是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高分辨率手动Z轴平台,采用微调杠杆式驱动系统,配备专属设计的FPP03-13精细螺距定位器,实现亚微米级的垂直方向手动定位。该平台适用于显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴手动调节的应用场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | ZM07A-S3K |
| 反向型号 | ZM07A-S3K-R |
| 工作台面 | 70mm × 70mm |
| 导轨方式 | 精密交叉滚柱导轨 |
| 驱动系统 | 精密定位器 FPP03-13(13mm) |
| 移动范围 | 粗调:±3mm / 微调:0.15mm |
| 最小读数 | 粗调:约5μm/格 / 微调:约0.25μm/格 |
| 垂直度 | ≤4μm/6mm |
| 水平承载能力 | 29.4N(3kgf) |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 外观 | 白色表面处理 |
| 重量 | 0.9kg |
一、粗调+微调双驱动系统
粗调:±3mm行程,约5μm/格分辨率
微调:0.15mm行程,约0.25μm/格分辨率
先粗调接近目标位置,再微调实现精确定位
二、FPP03-13精细螺距定位器
神津精机专属设计开发的亚微米级兼容测微头
实现高分辨率微调定位
适用于亚微米级精密定位需求
三、精密交叉滚柱导轨
采用精密交叉滚柱导轨,确保垂直运动平滑性
垂直度≤4μm/6mm
承载能力29.4N(3kgf)
四、紧凑轻量化设计
主体采用铝合金
重量仅0.9kg
台面尺寸70mm×70mm
| 选项 | 型号后缀 | 说明 | 费用(日元) |
|---|---|---|---|
| 洁净润滑脂 | -C | 适用于洁净室环境 | ¥18,000 |
| 真空润滑脂 | -V | 适用于真空环境 | ¥18,000 |
| 项目 | 费用(日元) |
|---|---|
| 大修 | ¥24,000起 |
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 显微镜对焦 | 精密对焦调整 |
| 精密测量 | 高度方向的精密定位 |
| 光学元件组装 | 透镜、棱镜等光学元件的垂直微调 |
| 半导体制造 | 晶圆检测工序的Z轴手动定位 |
| 实验室设备 | 实验装置的高度精密调节 |
神津精机ZM07A-S3K手动Z轴平台通过粗调+微调双驱动系统(粗调±3mm/约5μm格,微调0.15mm/约0.25μm格)、FPP03-13精细螺距定位器(亚微米级兼容)、精密交叉滚柱导轨(垂直度≤4μm/6mm)及轻量化设计(0.9kg),为显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴手动调节的应用场景提供了理想的解决方案。
