神津精机

神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台

神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台产品概述:ZM07A-S3K是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高分辨率手动Z轴平台,采用微调杠杆式驱动系统,配备专属设计的FPP03-13精细螺距定位器,实现亚微米级的垂直方向手动定位。该平台适用于显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴手动调节的应用场

神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台

神津精机 ZM07A-S3K 手动Z轴平台

产品概述:

ZM07A-S3K是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高分辨率手动Z轴平台,采用微调杠杆式驱动系统,配备专属设计的FPP03-13精细螺距定位器,实现亚微米级的垂直方向手动定位。该平台适用于显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴手动调节的应用场景。

核心规格参数:

项目规格
型号ZM07A-S3K
反向型号ZM07A-S3K-R
工作台面70mm × 70mm
导轨方式精密交叉滚柱导轨
驱动系统精密定位器 FPP03-13(13mm)
移动范围粗调:±3mm / 微调:0.15mm
最小读数粗调:约5μm/格 / 微调:约0.25μm/格
垂直度≤4μm/6mm
水平承载能力29.4N(3kgf)
主体材质铝合金
外观白色表面处理
重量0.9kg

核心设计特征:

一、粗调+微调双驱动系统

  • 粗调:±3mm行程,约5μm/格分辨率

  • 微调:0.15mm行程,约0.25μm/格分辨率

  • 先粗调接近目标位置,再微调实现精确定位

二、FPP03-13精细螺距定位器

  • 神津精机专属设计开发的亚微米级兼容测微头

  • 实现高分辨率微调定位

  • 适用于亚微米级精密定位需求

三、精密交叉滚柱导轨

  • 采用精密交叉滚柱导轨,确保垂直运动平滑性

  • 垂直度≤4μm/6mm

  • 承载能力29.4N(3kgf)

四、紧凑轻量化设计

  • 主体采用铝合金

  • 重量仅0.9kg

  • 台面尺寸70mm×70mm

选配规格:

选项型号后缀说明费用(日元)
洁净润滑脂-C适用于洁净室环境¥18,000
真空润滑脂-V适用于真空环境¥18,000

维修费用参考:

项目费用(日元)
大修¥24,000起

典型应用场景:

应用领域说明
显微镜对焦精密对焦调整
精密测量高度方向的精密定位
光学元件组装透镜、棱镜等光学元件的垂直微调
半导体制造晶圆检测工序的Z轴手动定位
实验室设备实验装置的高度精密调节

综合价值:

神津精机ZM07A-S3K手动Z轴平台通过粗调+微调双驱动系统(粗调±3mm/约5μm格,微调0.15mm/约0.25μm格)、FPP03-13精细螺距定位器(亚微米级兼容)、精密交叉滚柱导轨(垂直度≤4μm/6mm)及轻量化设计(0.9kg),为显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴手动调节的应用场景提供了理想的解决方案。

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