神津精机

神津精机 ZA10A-W202 自动Z轴平台

神津精机 ZA10A-W202 自动Z轴平台神津精机 ZA10A-W202 自动Z轴平台产品概述:ZA10A-W202是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动Z轴平台,采用楔形升降机构和精密交叉滚柱导轨,实现紧凑的垂直方向精密定位。该平台适用于显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴直线运动的应用场景。核心规格参数:项目规格型号ZA

神津精机 ZA10A-W202 自动Z轴平台

神津精机 ZA10A-W202 自动Z轴平台

产品概述:

ZA10A-W202是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动Z轴平台,采用楔形升降机构和精密交叉滚柱导轨,实现紧凑的垂直方向精密定位。该平台适用于显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴直线运动的应用场景。

核心规格参数:

项目规格
型号ZA10A-W202
反向型号ZA10A-W202-R
工作台面100mm × 100mm
导轨方式精密交叉滚柱导轨
移动范围±7mm(总行程14mm)
进给方式1/2英寸楔形块 + 滚珠丝杠(导程1.0mm)
分辨率(整步/半步)0.5μm / 0.25μm
分辨率(微步进1/20格)0.025μm
最高速度2.5mm/s
重复定位精度≤±0.2μm(平均值±0.06μm)
背隙≤1μm(平均值0.28μm)
垂直度≤5μm/14mm(平均值2.15μm/14mm)
水平承载能力98N(10kgf)
主体材质铝合金
外观白色表面处理
重量3.25kg

电气规格:

项目规格
光电传感器基板F-115R(原点/限位一体)
电机轴直径Φ5mm,可选手柄:A型
电机类型5相步进电机(东方马达 PK544PMB)
额定电流0.75A/相
基本步距角0.36°
连接器广濑:RP13A-12RA-20PC

选配规格:

选项型号后缀说明费用(日元)
2相步进电机-BM电机更换为东方马达PKP244D15B(连接器不变)需咨询
洁净润滑脂-C适用于洁净室环境¥36,000
真空润滑脂-V适用于真空环境¥36,000

维修与更换费用参考:

项目费用(日元)
大修¥60,000起
同形电机更换¥12,000起
异形电机更换¥33,000起

核心设计特征:

一、楔形升降机构

  • 采用1/2英寸楔形块设计,实现紧凑的垂直运动

  • 最小分辨率0.025μm(微步进1/20格)

  • 重复定位精度≤±0.2μm

二、精密交叉滚柱导轨

  • 采用精密交叉滚柱导轨,确保垂直运动平稳性

  • 垂直度≤5μm/14mm

三、高分辨率进给系统

  • 滚珠丝杠导程1.0mm

  • 背隙≤1μm

  • 承载能力98N(10kgf)

四、紧凑轻量化设计

  • 主体采用铝合金

  • 重量仅3.25kg

  • 台面尺寸100mm×100mm

5相步进电机与2相步进电机规格对比:

项目5相电机(标准)2相电机(可选-BM)
电机型号东方马达 PK544PMB东方马达 PKP244D15B
基本步距角0.36°
额定电流0.75A/相
连接器广濑 RP13A-12RA-20PC广濑 RP13A-12RA-20PC

兼容控制器与电缆:

项目说明
推荐控制器KOSMOS系列
电缆需使用5芯电机电缆
控制器设置SYS No.2需设置为"2"(区域传感器原点复归方式)

典型应用场景:

应用领域说明
显微镜对焦高精度Z轴对焦控制
精密测量高度方向的精密定位
光学元件组装透镜、棱镜等光学元件的垂直定位
半导体制造晶圆检测工序的Z轴定位
液晶制造液晶面板生产和检测设备

综合价值:

神津精机ZA10A-W202自动Z轴平台通过楔形升降机构(紧凑型垂直运动)、滚珠丝杠高精度进给(最小分辨率0.025μm)、精密交叉滚柱导轨(重复定位精度±0.2μm)及轻量化设计(3.25kg),为显微镜对焦、精密测量、光学元件组装等需要高精度Z轴直线运动的应用场景提供了理想的解决方案。

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