神津精机

神津精机 YA10A-L101 自动XY平台

神津精机 YA10A-L101 自动XY平台神津精机 YA10A-L101 自动XY平台产品概述:YA10A-L101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动XY平台,采用精密直线导轨和研磨丝杠(导程1.0mm),实现高分辨率定位。该平台适用于精密测量仪器、光学设备组装、半导体制造等需要高精度XY二维定位的应用场景。核心规格参数:项目规格型号

神津精机 YA10A-L101 自动XY平台

神津精机 YA10A-L101 自动XY平台

产品概述:

YA10A-L101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动XY平台,采用精密直线导轨和研磨丝杠(导程1.0mm),实现高分辨率定位。该平台适用于精密测量仪器、光学设备组装、半导体制造等需要高精度XY二维定位的应用场景。

核心规格参数:

项目规格
型号YA10A-L101
反向型号YA10A-L101-RRR
工作台面100mm × 100mm
导轨方式精密直线导轨
移动范围±50mm(总行程100mm)
进给方式研磨丝杠,导程1.0mm
分辨率(整步/半步)2μm / 1μm
分辨率(微步进1/20格)0.1μm
最高速度10mm/s
累计定位误差≤20μm/100mm
重复定位精度≤±0.5μm
背隙≤2μm
水平直线度≤3μm/100mm
垂直直线度≤2μm/100mm
回差≤2μm
弯曲刚度0.10 arcsec/N·cm
水平承载能力156.8N(16kgf)
正交性(XY轴垂直度)≤10μm/100mm
主体材质铝合金
外观白色表面处理
重量7.6kg

电气规格:

项目规格
光电传感器基板F-104(限位),F-105(原点)
电机轴直径Φ8mm,可选手柄:B型
电机类型5相步进电机(东方马达 C087Q-9215P)
额定电流0.75A/相
基本步距角0.72°
连接器圆形20针(广濑:RP13A-12RA-20PC)

选配规格:

选项型号后缀说明费用(日元)
2相步进电机-BM电机更换为东方马达PK264JDB,连接器变更为方形20针¥80,000
洁净润滑脂-C适用于洁净室环境¥72,000
真空润滑脂-V适用于真空环境¥72,000

维修与更换费用参考:

项目费用(日元)
大修¥96,000起
同形电机更换¥30,000起
异形电机更换¥80,000起

核心设计特征:

一、高精度XY二维定位

  • X轴和Y轴一体化设计,正交性≤10μm/100mm

  • 重复定位精度≤±0.5μm

  • 微步进分辨率0.1μm

二、研磨丝杠高分辨率进给

  • 采用研磨丝杠(导程1.0mm),实现高精度进给

  • 累计定位误差≤20μm/100mm

  • 背隙≤2μm

三、精密直线导轨

  • 采用精密直线导轨,确保运动平滑性

  • 水平直线度≤3μm/100mm

  • 垂直直线度≤2μm/100mm

四、长行程设计

  • 移动范围±50mm(总行程100mm)

  • 适用于大范围XY定位需求

5相步进电机与2相步进电机规格对比:

项目5相电机(标准)2相电机(可选-BM)
电机型号东方马达 C087Q-9215P东方马达 PK264JDB
额定电流0.75A/相
基本步距角0.72°
连接器圆形20针方形20针
附加费用¥80,000

兼容控制器与电缆:

项目说明
推荐控制器KOSMOS系列
电缆需使用5芯电机电缆
控制器设置SYS No.2需设置为"2"(区域传感器原点复归方式)

典型应用场景:

应用领域说明
精密测量仪器高精度XY位移测量
光学设备透镜、棱镜等光学元件的二维定位
半导体制造晶圆检测、定位等工序
液晶制造液晶面板生产和检测设备
显微镜系统样品台的精密XY定位

综合价值:

神津精机YA10A-L101自动XY平台通过研磨丝杠高精度进给(微步进分辨率0.1μm)、精密直线导轨(重复定位精度±0.5μm)、长行程(±50mm)及一体化XY结构(正交性≤10μm/100mm),为精密测量仪器、光学设备组装、半导体制造等需要高精度XY二维定位的应用场景提供了理想的解决方案。


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