神津精机 YA10A-L101 自动XY平台
神津精机 YA10A-L101 自动XY平台神津精机 YA10A-L101 自动XY平台产品概述:YA10A-L101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动XY平台,采用精密直线导轨和研磨丝杠(导程1.0mm),实现高分辨率定位。该平台适用于精密测量仪器、光学设备组装、半导体制造等需要高精度XY二维定位的应用场景。核心规格参数:项目规格型号
神津精机 YA10A-L101 自动XY平台神津精机 YA10A-L101 自动XY平台产品概述:YA10A-L101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动XY平台,采用精密直线导轨和研磨丝杠(导程1.0mm),实现高分辨率定位。该平台适用于精密测量仪器、光学设备组装、半导体制造等需要高精度XY二维定位的应用场景。核心规格参数:项目规格型号
YA10A-L101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动XY平台,采用精密直线导轨和研磨丝杠(导程1.0mm),实现高分辨率定位。该平台适用于精密测量仪器、光学设备组装、半导体制造等需要高精度XY二维定位的应用场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | YA10A-L101 |
| 反向型号 | YA10A-L101-RRR |
| 工作台面 | 100mm × 100mm |
| 导轨方式 | 精密直线导轨 |
| 移动范围 | ±50mm(总行程100mm) |
| 进给方式 | 研磨丝杠,导程1.0mm |
| 分辨率(整步/半步) | 2μm / 1μm |
| 分辨率(微步进1/20格) | 0.1μm |
| 最高速度 | 10mm/s |
| 累计定位误差 | ≤20μm/100mm |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 背隙 | ≤2μm |
| 水平直线度 | ≤3μm/100mm |
| 垂直直线度 | ≤2μm/100mm |
| 回差 | ≤2μm |
| 弯曲刚度 | 0.10 arcsec/N·cm |
| 水平承载能力 | 156.8N(16kgf) |
| 正交性(XY轴垂直度) | ≤10μm/100mm |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 外观 | 白色表面处理 |
| 重量 | 7.6kg |
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 光电传感器基板 | F-104(限位),F-105(原点) |
| 电机轴直径 | Φ8mm,可选手柄:B型 |
| 电机类型 | 5相步进电机(东方马达 C087Q-9215P) |
| 额定电流 | 0.75A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 圆形20针(广濑:RP13A-12RA-20PC) |
| 选项 | 型号后缀 | 说明 | 费用(日元) |
|---|---|---|---|
| 2相步进电机 | -BM | 电机更换为东方马达PK264JDB,连接器变更为方形20针 | ¥80,000 |
| 洁净润滑脂 | -C | 适用于洁净室环境 | ¥72,000 |
| 真空润滑脂 | -V | 适用于真空环境 | ¥72,000 |
| 项目 | 费用(日元) |
|---|---|
| 大修 | ¥96,000起 |
| 同形电机更换 | ¥30,000起 |
| 异形电机更换 | ¥80,000起 |
一、高精度XY二维定位
X轴和Y轴一体化设计,正交性≤10μm/100mm
重复定位精度≤±0.5μm
微步进分辨率0.1μm
二、研磨丝杠高分辨率进给
采用研磨丝杠(导程1.0mm),实现高精度进给
累计定位误差≤20μm/100mm
背隙≤2μm
三、精密直线导轨
采用精密直线导轨,确保运动平滑性
水平直线度≤3μm/100mm
垂直直线度≤2μm/100mm
四、长行程设计
移动范围±50mm(总行程100mm)
适用于大范围XY定位需求
| 项目 | 5相电机(标准) | 2相电机(可选-BM) |
|---|---|---|
| 电机型号 | 东方马达 C087Q-9215P | 东方马达 PK264JDB |
| 额定电流 | 0.75A/相 | — |
| 基本步距角 | 0.72° | — |
| 连接器 | 圆形20针 | 方形20针 |
| 附加费用 | — | ¥80,000 |
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 推荐控制器 | KOSMOS系列 |
| 电缆 | 需使用5芯电机电缆 |
| 控制器设置 | SYS No.2需设置为"2"(区域传感器原点复归方式) |
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 精密测量仪器 | 高精度XY位移测量 |
| 光学设备 | 透镜、棱镜等光学元件的二维定位 |
| 半导体制造 | 晶圆检测、定位等工序 |
| 液晶制造 | 液晶面板生产和检测设备 |
| 显微镜系统 | 样品台的精密XY定位 |
神津精机YA10A-L101自动XY平台通过研磨丝杠高精度进给(微步进分辨率0.1μm)、精密直线导轨(重复定位精度±0.5μm)、长行程(±50mm)及一体化XY结构(正交性≤10μm/100mm),为精密测量仪器、光学设备组装、半导体制造等需要高精度XY二维定位的应用场景提供了理想的解决方案。