直发！！EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵 EV-M502N
直发！！EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵 EV-M502N直发！！EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵 EV-M502NEV-M型适合节能和高负荷工艺的干式真空泵高负荷工艺支持高温控制节能采用耐腐蚀材料作为标准提高耐腐蚀性的选择不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求 产品介绍荏原的高温技术支持半导体、液晶显示器和太阳能电池制造过程中产生反应
直发！！EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵 EV-M502N
直发！！EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵 EV-M502N
EV-M型
适合节能和高负荷工艺的干式真空泵
高负荷工艺支持
高温控制
节能
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
不同频率下性能相同（50/60Hz）
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
产品介绍
荏原的高温技术支持半导体、液晶显示器和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。
高节能性能可同时实现高负荷工艺和节能。
标准配置为耐腐蚀材料，并且还包括排量为110,000 L/min的大排量型号。
我们拥有适合各种工艺条件的丰富产品阵容，能够处理各种高负荷工艺。
规格
| 模型 | 单元 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 抽气速度 | 升/分钟 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5万 | 5万 | 8万 | 8万 | 110,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接尺寸 | 进气 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力下的近似功率值 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷却水 | 流动 | 升/分钟 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 氮气 | 流动 | 帕•立方米/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 供电容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 近似质量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |