直供！！EBARA荏原 半导体用干式真空泵 EV-S30P
直供！！EBARA荏原 半导体用干式真空泵 EV-S30P直供！！EBARA荏原 半导体用干式真空泵 EV-S30PEV-S型节能、节省空间的干式真空泵节能紧凑轻便耐腐蚀材料选项提供 N2 吹扫型号不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求产品介绍我们的转子设计和空转功能实现了高水平的节能和紧凑性。这有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐
直供！！EBARA荏原 半导体用干式真空泵 EV-S30P
直供！！EBARA荏原 半导体用干式真空泵 EV-S30P
EV-S型
节能、节省空间的干式真空泵
节能
紧凑轻便
耐腐蚀材料选项
提供 N2 吹扫型号
不同频率下性能相同（50/60Hz）
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
产品介绍
我们的转子设计和空转功能实现了高水平的节能和紧凑性。这有助于降低运行成本。
此外，还提供耐腐蚀材料选项，可用于广泛的应用，从轻负载应用（例如负载锁和 SEM）到腐蚀过程。
规格
| 模型 | 单元 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
| 抽气速度 | 升/分钟 | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接尺寸 | 进气 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
| 排气口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力下的近似功率值 | 千瓦 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| 冷却水 | 流动 | 升/分钟 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 温度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 氮气 | 流动 | 帕•立方米/秒 | - | 17–20 (2.4) | - | 17–20 (2.4) | 17–20 (2.4) | 17–20 (2.4) | 17–20 (2.4) | |||
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | - | - | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | ||
| 供电容量 | 千伏安 | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
| 近似质量 | 公斤 | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |