旋转旋转干燥机（离心干燥机）SPD-180 kokusan科库森
旋转旋转干燥机（离心干燥机）SPD-180 kokusan科库森特点/应用该设备作为半导体行业的晶圆干燥设备有着良好的记录。利用离心力和气流通过 ULPA 过滤器，干净地排水和干燥工件。主要规格电源AC200V 3φ 50/60Hz 8A驾驶空气0.3Mpa（3公斤/平方厘米）最大处理能力8 英寸 x 25 片托架 1 个托架超高效过滤器是的离子发生器是的控制PLC/变频器操作部分触控面板注册驾驶
旋转旋转干燥机（离心干燥机）SPD-180 kokusan科库森
特点/应用
该设备作为半导体行业的晶圆干燥设备有着良好的记录。利用
离心力和气流通过 ULPA 过滤器，干净地排水和干燥工件。
主要规格
| 电源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
|---|---|
| 驾驶空气 | 0.3Mpa（3公斤/平方厘米） |
| 最大处理能力 | 8 英寸 x 25 片托架 1 个托架 |
| 超高效过滤器 | 是的 |
| 离子发生器 | 是的 |
| 控制 | PLC/变频器 |
| 操作部分 | 触控面板 |
| 注册驾驶食谱数量 | 五种类型 |
| 转数 | 3,500rpm （3,000rpm 适用于 5 英寸和 6 英寸或以上） |
| 发动机 | 变频电机 |
| 尺寸 | 652(W)×1135(D)×1080(H)mm 盖子打开时的高度 1352(H)mm |
| 重量 | 110公斤 |