YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器A-56-0500W-P01，Smart Cell 500w母线（10×15mm试片用）

YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀设备Smart Cell® W型硅片组合示例

YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 A-56-0500W智能电池500W（水箱容量500mL）

Microcell Ⅰw/Ⅱw带温度保险丝加热器WJB型（AC100V，50W） A-53-M1-P05WJB

B-93C，1kW数字温度控制器 YAMAMOTO-MS 山本鍍金試験器

日本YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 B-62BW-P01搅拌架

YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器，B-62-P01 搅拌器（兼容微桶/智能赫尔槽）

YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器A-56-0500W-P01，Smart Cell 500w母线（10×15mm试片用）

Smart Cell 水箱、夹具、加热器和搅拌器组合的示例。

适合基本实验，例如电镀硅晶片芯片和凸点电镀。

智能细胞结构

将智能细胞放置在磁力搅拌器上并通过旋转搅拌器来使用。

通过如下图所示进行溢流循环，

即使电镀液蒸发，电镀区域的液面也能保持恒定，从而可以保持稳定的电流分布和电镀面积。

组合示例

水箱容量有500mL和1000mL两种。

500mL可安装10x15mm夹具，1000mL可安装10x15mm和30x30mm夹具。

水箱容量和夹具尺寸的改变可以通过特殊订单进行。

*如果想使用热搅拌器，请使用玻璃智能池（A-56-0500G）

电镀测试仪、均匀电镀测试仪、均匀电沉积测试仪

B-77WJ

B-77W-YTC300

水槽

B-77-P01W

B-77-P04

B-77-P06

B-77-P07

B-77-P12

B-77-P31A

B-77-P33

B-77-P28

B-77-P28-1

B-58WJB

B-93C

A-57-15100-P01A

A-63-S101气泵

温度控制器

B-93-YTC300

B-93-YTC-P03

隔膜阳极支架B-77-P30

电镀测试仪、应力测量仪

B-72WJ

B-72-P01WJ

B-72-P02

B-72-P14A

B-72-P19A

B-72-P20

B-72-P41

B-72-P42

B-72-P33

B-72-P14B

B-72-P14B-1

B-72-P37

B-72-P37-2

B-58WB