日本 KOSAKA小坂研究所 ET4000M高性能通用微型形状测量机
池田屋/KOSAKA小坂研究所 ET4000A全自动微型形状测量机KOSAKA小坂研究所 ET4000L多功能全自动显微形状测量机日本 KOSAKA小坂研究所 ET4000M高性能通用微型形状测量机一款全自动微型形状测量机，具有出色的精度、稳定性和功能，适合测量 FPD 板、晶圆、硬盘等的微型形状、台阶和粗糙度。还可以从多种型号中进行选择，以满足您的需求。ET4000A...多功能全自动显微形状测
池田屋/KOSAKA小坂研究所 ET4000A全自动微型形状测量机
KOSAKA小坂研究所 ET4000L多功能全自动显微形状测量机
日本 KOSAKA小坂研究所 ET4000M高性能通用微型形状测量机
一款全自动微型形状测量机，具有出色的精度、稳定性和功能，
适合测量 FPD 板、晶圆、硬盘等的微型形状、台阶和粗糙度。
还可以从多种型号中进行选择，以满足您的需求。
ET4000A...多功能全自动显微形状测量机
ET4000L...可处理大尺寸的全自动微型形状测量机。
ET4000M...一款合理、高性能的通用微型形状测量机
| 最大样本量 | 210×210毫米、300×400毫米 |
|---|---|
| 再现性 | 0.5nm以内1σ |
| 测量范围 | Z：100μm X：100mm（Y移动量：150～400mm） |
| 解决 | Z：0.1nm X：0.01μm |
| 测量功率 | 0.5μN ～ 500μN |