介绍用于半导体制造工艺和电路板安装工艺的称重传感器
2025-02-20 19:40:21
admin
介绍用于半导体制造工艺和电路板安装工艺的称重传感器
TEAC称重传感器的特点
我们可以提供与您其他公司的称重传感器具有相同形状和性能的称重传感器。
可以根据相同形状的称重传感器生产功能强大的定制版本。
可以制造诸如晶体生长称重传感器等专用模型。
我们专注于低容量和小尺寸产品。
拉锭
用于拉制半导体晶圆所需的硅、蓝宝石等单晶。
即使在各种气体环境下，也能高精度、稳定地检测提升过程中的微小负载变化。
通过在籽晶前端安装称重传感器来进行载荷控制。
兼容的称重传感器：晶体生长称重传感器
TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
TT-XNS / TT-XNS(G)
| 模型 | TT-XNⅡ（常压型） TT-XNⅡ（G）（常压气体吹扫型） | TT-XNS（常压型） TT-XNS(G)（常压气体吹扫型） | ||
|---|---|---|---|---|
| 额定容量 | 低容量部分：100N | 高容量部分：500N | 20N～500N | |
| 允许过载 | 600N | 120%RC | ||
| 过载保护* | 可以是 | 可以是 | ||
| 体重 | 8公斤 | 8公斤 | ||
| 配件 | φ6，6芯屏蔽电缆，前端 NDIS插孔para（长度待讨论） | φ10，6芯屏蔽电缆，前端 NDIS插孔（长度请咨询） | ||
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*过载保护
TT-XNⅡ：
机械制动器在重力方向上约 120% 的负载下保护称重传感器。在相反方向（向上方向），通过将载荷传输部件与称重传感器分离来保护称重传感器。
TT-XNS：
在重力方向上，称重传感器在 110% 至 120% 负载时受到机械制动器的保护。在相反方向（向上方向），称重传感器在大约 120% 负载时受到机械制动器的保护。
兼容的称重传感器：用于大直径铸锭负载管理
TU-PGRS ○○N/KN-G
| 模型 | TU-PGRS ○○N/KN-G |
|---|---|
| 额定容量 | 2kN～5kN |
| 负载方向 | 拉伸/压缩 |
| 特征 | 超高精度 |
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切割（线锯）
钢丝张力和锭压制负载由称重传感器监控。
使压住锭的力恒定。
兼容的称重传感器
第355章
| 模型 | 第355章 | |
|---|---|---|
| 额定容量 | 49N～ | |
| 负载方向 | 压缩 | |
| 特征 | 防水性能 IP68 不锈钢 | |
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抛光（抛光/研磨）
用于控制硅片抛光（研磨/抛光）过程中的压力。
测量旋转台的压紧压力（力）
称重传感器安装位置：根据工作流程，可能安装在上抛光段，也可能安装在上下部分。
兼容的称重传感器：用于抛光
TC-FR(T) ○○N-G6
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TU-PGRS ○○N/KN-G
| 模型 | TC-FR(T) ○○N-G6 | TC-NSRSP(T) ○○N-G3 | TU-PGRS ○○N/KN-G |
|---|---|---|---|
| 额定容量 | 200N～500N | 50N～500N | 100N～500N |
| 负载方向 | 压缩 | 压缩 | 拉伸/压缩 |
| 特征 | 所有公司通用形状 的标准型 | 带溅射薄膜测量仪的 高响应型 | 超高精度 |
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兼容的称重传感器：用于包装
TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-MXR2(T) ○○N-G3
| 模型 | TU-GR ○ KN-G | TU-NR-C□□KN-G | TU-MXR2(T) ○○N-G3 |
|---|---|---|---|
| 额定容量 | 5kN~ | 1kN～ | 100N～500N |
| 负载方向 | 拉伸/压缩 | 拉伸/压缩 | 拉伸/压缩 |
| 特征 | 剪切结构 抗偏心性能、抗疲劳性能 | 剪切结构 抗偏心性能、抗疲劳性能 | 适用于小型抛光设备 |
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晶圆测试
用于测试晶圆上形成的芯片的电气特性时的负载管理。
探针卡压力管理
兼容的称重传感器
TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-CR(T) ○○N/KN-G6
| 模型 | TU-GR ○ KN-G | TU-NR-C□□KN-G | TU-CR(T) ○○N/KN-G6 |
|---|---|---|---|
| 额定容量 | 5kN~ | 1kN～ | 1kN・2kN |
| 负载方向 | 拉伸/压缩 | 拉伸/压缩 | 拉伸/压缩 |
| 特征 | 剪切结构 抗偏心性能、抗疲劳性能 | 薄 剪切结构 耐偏心、耐疲劳 | 高输出/光束型 |
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粘合
用于粘合压力管理。
兼容的称重传感器：用于引线键合
TC-USR(T)29 ○○N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T)50N-G
TC-SR(T)100N-G3
| 目的 | 压力 | 压力 | 压力 | 压力 |
|---|---|---|---|---|
| 模型 | TC-USR(T)29 ○○N-G3 | TC-NSRSP(T) ○○N-G3 | TC-SR(T)50N-G | TC-SR(T)100N-G3 |
| 额定容量 | 50N・100N | 50N・100N | 50N | 100N |
| 负载方向 | 压缩 | 压缩 | 压缩 | 压缩 |
| 特征 | 过载保护功能 | 采用高响应型溅射薄膜测量仪 | 所有公司通用形状 的标准型 | 所有公司通用形状 的标准型 |
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TU-MBR(T) ○○N-G3
| 目的 | 线材抗拉强度 |
|---|---|
| 模型 | TU-MBR(T) ○○N-G3 |
| 额定容量 | 2N・5N・10N・20N |
| 负载方向 | 拉伸/压缩 |
| 特征 | 允许过载500% |
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兼容的称重传感器：用于倒装芯片接合/芯片接合
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG
| 目的 | 压力 | 压力 | 压力 |
|---|---|---|---|
| 模型 | TC-NSRSP(T) ○○N-G3 | TC-SR(T) ○○NG | TC-MFSR(T) ○ ○ NG |
| 额定容量 | 50N・100N | 20N・50N | 20N・50N |
| 负载方向 | 压缩 | 压缩 | 压缩 |
| 特征 | 采用高响应型溅射薄膜测量仪 | 所有公司通用形状 的标准型 | 特殊形状 |
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最终检查（处理程序）
进行半导体器件的性能评估和合格/不合格判断。
兼容的称重传感器
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-SR(T)100N-G3
| 模型 | TC-NSRSP(T) ○○N-G3 | TC-SR(T) ○○NG | TC-SR(T)100N-G3 |
|---|---|---|---|
| 额定容量 | 50N・100N | 20N・50N | 100N |
| 负载方向 | 压缩 | 压缩 | 压缩 |
| 特征 | 采用高响应型溅射薄膜测量仪 | 所有公司通用形状 的标准型 | 所有公司通用形状 的标准型 |
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贴片机
它用于控制贴片机的负载，该贴片机用于在电路板安装过程中将电子元件放置在印刷电路板上。
吸附放置板子时测量重量
称重传感器安装在底座底部
兼容的称重传感器
TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG
TC-USR(T)29 ○○N-G3
| 模型 | TC-SR(T) ○○NG | TC-MFSR(T) ○ ○ NG | TC-USR(T)29 ○○N-G3 |
|---|---|---|---|
| 额定容量 | 20N・50N | 20N・50N | 20N・50N |
| 负载方向 | 压缩 | 压缩 | 压缩 |
| 特征 | 所有公司通用形状 的标准型 | 特殊形状 | 过载保护功能 |
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化学溶液管理
管理液体和气瓶的剩余量。
使用低地板称重传感器平台秤检测气缸重量
兼容称重传感器（秤）
TL-LF
TL-PM
TL-PS
TL-PW
TL-LF
| 模型 | TL-LF |
|---|---|
| 体重 | 0.4公斤 |
| 额定容量 | 0.6/1/3公斤 |
| 允许过载 | 120% |
| 特征 | 超小 |
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TL-PM
| 模型 | TL-PM12 | TL-PM18 | TL-PM21 |
|---|---|---|---|
| 体重 | 0.7公斤 | 1.4公斤 | 1.7公斤 |
| 额定容量 | 10/20/50公斤 | ||
| 允许过载 | 150% | ||
| 特征 | 超小 | ||
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TL-PS
| 模型 | TL-PS12 | TL-PS18 | TL-PS21 | TL-PS25 | TL-PS28 |
|---|---|---|---|---|---|
| 体重 | 0.8公斤 | 2.0公斤 | 2.7公斤 | 3.8公斤 | 4.5公斤 |
| 额定容量 | 10/20/50公斤 | 10/20/50/100/200公斤 | 10/20/50/100/200/300/400公斤 | ||
| 允许过载 | 150% | ||||
| 特征 | 标准型 | ||||
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| 模型 | TL-PS33 | TL-PS42 | TL-PS50 | TL-PS60 |
|---|---|---|---|---|
| 体重 | 6.2公斤 | 11.1公斤 | 16.8公斤 | 18.2公斤 |
| 额定容量 | 20/50/100/200/300/400公斤 | 50/100/200/300/400公斤 | 100/200/300/400公斤 | |
| 允许过载 | 150% | |||
| 特征 | 标准型 | |||
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TL-PW
| 模型 | TL-PW22 | TL-PW34 | TL-PW43 | TL-PW53 | TL-PW60 |
|---|---|---|---|---|---|
| 体重 | 3.4公斤 | 7.4公斤 | 12.9公斤 | 21.9公斤 | 23.0公斤 |
| 额定容量 | 10/20/50/100/200公斤 | 20/50/100/200/300/400公斤 | 50/100/200/300/400公斤 | 100/200/300/400公斤 | |
| 允许过载 | 150% | ||||
| 特征 | 标准型 | ||||
