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什么是红外显微镜?

2024-09-18 19:14:17 admin

红外显微镜是一种光学显微镜,利用微红外光谱法利用红外线分析微小部件。

由于光源采用波长较长的红外光,空间分辨率受到衍射极限的限制,但可以进行光谱分析。目前市场上的许多红外显微镜都具有一般红外光谱仪的功能,例如傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)和全内反射。

红外显微镜的应用 红外显微镜由于可以测量显微样品而应用于失效分析和材料科学研究领域。利用红外线吸收的差异来检测固体中的异物以及检测不良品也很有效。

它还用作测量半导体厚度的方法。除了具有红外区域的透射范围外,半导体还具有高折射率的特点。需要使用红外光而不是可见光进行光学测量,并且由于红外光受到高折射率的影响,因此具有精度降低的缺点。

但它也具有受被测物体表面凹凸影响较小的优点。使用红外显微镜测量半导体厚度的一种方法是通过干涉测量法,它根据从物体的前表面和后表面反射的光之间的光程差来计算厚度。



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