OURSTEX欧斯特克斯在线膜厚仪分析实例
2024-07-27 17:26:46
admin
OURSTEX欧斯特克斯在线膜厚仪分析实例
我们将介绍使用在线膜厚计的分析示例。
控制膜厚不仅影响产品的可靠性，还有助于减少原材料。便携式X射线荧光分析仪“OURSTEX100FA”能够分析工厂制造过程中的膜厚。
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基本信息在线膜厚仪分析实例
[特点]
使用安装在成膜装置中的新开发的荧光X射线膜厚计进行性能评价的结果发现：
○通过计算X-来计算由于输送过程中薄膜的位置波动而产生的误差。射线强度与瑞利散射射线的比率事实证明这
是可以校正的。
○Cu、Ni、Cr膜的检测限为Cu为1.5nm、Ni、Cr为1nm以下，
实现了高灵敏度。
○静态和动态的测量精度均为CV=5%以下，
可以高灵敏度地测量极薄的薄膜。
○ 综上所述，该膜厚仪完全适用于超薄膜厚度的在线测量。
○此外，不仅可以应用于膜厚测定，还可以应用于电镀液的分析等。
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