池田屋INFICON英富丽 泄漏检测器 Modul1000
INFICON（英富康）是全球领先的泄漏检测、真空计及传感器技术提供商。Modul1000 是一款紧凑型、模块化的氦气泄漏检测仪，专为集成到自动化生产线和复杂真空系统而设计。它并非传统意义上的手持式或台式独立检漏仪，而是作为核心检测模块，可灵活嵌入客户的设备中（如真空镀膜机、半导体制造设备、大型真空炉等），实现全自动、高灵敏度的泄漏检测。
其核心设计理念是：高灵敏度、快速响应、易于集成。Modul1000 采用质谱分析法，仅对氦气有高选择性响应，从而排除其他气体的干扰，实现精确、可重复的检漏结果。
二、 核心工作原理
Modul1000 基于质谱分析技术。其内部包含一个扇形磁场质谱室，调谐为仅检测质量数为4的粒子（即氦离子）。工作流程如下：
待测工件或真空系统被抽真空至一定压力（通常<1 mbar）。
在被测件外部喷吹或充入氦气（示踪气体）。
若有泄漏，氦气通过漏孔进入系统内部，并被真空泵抽入质谱室。
质谱室内，气体被电离、加速、偏转。只有氦离子能通过特定磁场路径到达检测器。
检测器产生的离子电流强度与氦气分压成正比，经处理后输出泄漏率数值。
由于氦气在空气中含量极低（约5ppm），且化学性质稳定、无毒、不冷凝，因此是理想的示踪气体。
三、 关键技术参数
Modul1000 的设计目标是高性能与高可靠性，典型参数如下（具体以官方最新数据为准）：
| 参数项目 | 典型值/范围 |
|---|---|
| 最小可检漏率 | < 5×10⁻¹² mbar·L/s (He) 或更好 |
| 测量范围 | 10⁻¹² 至 10⁻⁴ mbar·L/s |
| 响应时间 | 约 1 秒（达到90%信号） |
| 启动时间 | < 3 分钟（从冷启动到可测量） |
| 允许入口压力 | 最高 15 mbar（粗检模式） 最高 0.1 mbar（高灵敏度模式） |
| 质谱室类型 | 180° 扇形磁场，钇氧化铱涂层的铱灯丝 |
| 灯丝寿命 | 长寿命设计（通常>5年连续运行） |
| 接口 | Profibus, DeviceNet, RS232, 以太网等 |
| 尺寸（典型） | 约 500mm × 200mm × 300mm（不含控制器） |
| 重量 | 约 25-30 kg |
四、 主要用途与应用领域
Modul1000 适用于对泄漏要求极高、需要自动化集成的工业场景，典型应用包括：
半导体与平板显示制造：检测刻蚀机、PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）等真空工艺腔室的微小泄漏。任何微小空气泄漏都会导致晶圆氧化或污染，造成巨大损失。
真空镀膜（光学、装饰、功能性镀膜）：集成于卷绕镀膜机、箱式镀膜机中，在镀膜前快速确认真空系统密封性，避免批次性质量事故。
制冷与空调行业：用于压缩机、冷凝器、蒸发器及完整空调管路系统的氦气检漏。Modul1000 可嵌入自动化产线，实现每个产品的100%在线检测。
汽车零部件：燃油箱、燃油轨、喷射器、电池包壳体（新能源汽车）、热管理系统等对密封性要求苛刻的部件。
科研与大型真空设施：如粒子加速器、空间环境模拟器、核聚变实验装置等，用于巡检和维护时的泄漏定位。
制冷剂或气体回收系统：配合自动化系统判断阀门、管路是否泄漏。
五、 产品优势与特色
模块化与集成友好：提供多种通讯协议（现场总线），可轻松纳入PLC或上位机控制系统。体积小，可安装于标准19英寸机架或直接嵌入设备框架。
高灵敏度与稳定性：磁场质谱室对比常见的四极质谱，具有更高的分辨率和长期稳定性，不易受污染影响，特别适合连续工业生产环境。
快速启动与低维护：无需等待离子源长时间加热稳定；灯丝寿命长，且支持双灯丝冗余设计，一根失效可自动切换，减少停机时间。
抗强泄漏能力强：即使系统突然发生大泄漏，模块也能自动保护并快速恢复，避免质谱室过载。
自诊断与数据追溯：内置诊断功能，可实时监测关键参数（入口压力、灯丝电流、偏转电压等），并支持数据记录，满足半导体行业SECS/GEM等追溯要求。
六、 总结
INFICON Modul1000 并非一台简单的检漏仪，而是一个专为严苛工业化集成设计的高端泄漏检测核心模组。它凭借 扇形磁场质谱技术，实现了从极微小泄漏（10⁻¹² mbar·L/s 级）到常规漏率的宽量程、高精度检测。在半导体、真空镀膜、汽车精密部件等对“零缺陷”漏封有刚性需求的领域，Modul1000 是自动化产线中不可或缺的质量控制环节。其高稳定性、长寿命和便捷的通讯接口，使其成为系统集成商和高端设备制造商的首选泄漏检测解决方案之一。
