【池田屋商社】好利旺ORION 高真空干泵 KHH251-101

2026-02-05 17:52:39 admin

好利旺（ORION）KHH251-101是一款在半导体、平板显示、光伏及高端科研领域广受认可的高性能爪式干式真空泵。作为无油抽气技术的代表，它专为需要洁净、可靠、高效的中高真空环境而设计，是现代精密制程中替代传统油封式真空泵的关键设备。

核心特点与设计优势：

洁净的无油技术：

采用先进的多级爪式转子技术，泵腔内完全无油、无水或其他工作液。这彻底消除了油气污染或返流的风险，为工艺腔室提供极其洁净的真空环境，是保障薄膜沉积、蚀刻、离子注入等关键工艺良率的必备条件。

高效耐用的气体处理能力：

KHH251-101 型号通常具备约250-300 m³/h (Cv值) 的抽速能力，能快速达到并维持所需工作真空（极限真空可达10⁻² Pa量级或更低）。

其爪式结构设计坚固，转子之间及转子与腔体间保持非接触运行，磨损极低，使用寿命长。

特别优化了粉尘与颗粒物的耐受性。在抽取含有微小颗粒或轻微凝结性气体的工艺（如CVD、PVD）时，其内部通道和排气设计能有效减少堵塞风险，提升运行稳定性。

卓越的可靠性与热管理：

设计精良的冷却系统（通常为风冷或水冷可选）和温度监控，确保泵在高温、高负载工况下能长期稳定运行。

优化的排气路径和高效的气镇功能，能有效应对工艺中可能出现的可凝性蒸汽（如水分、溶剂），防止其在泵内冷凝，从而保护泵体并维持性能。

智能化与集成友好性：

配备先进的变频控制器 (FCU)，可实现平滑的软启动/软停止，节能运行，并根据工艺需求精确调节转速和抽速。

集成全面的自诊断与保护功能（如过温、过载、低流量报警等），并通过标准接口（如RS-485、Ethernet）实现与设备主控系统的远程监控和数据交互，便于集成到自动化生产线中。

主要应用领域：

半导体制造：单晶炉拉晶、刻蚀、PVD/CVD、离子注入、装载互锁室（Loadlock）的抽气。

平板显示与光伏： OLED蒸镀、薄膜太阳能电池生产线。

工业与科研：分析仪器（如质谱仪）、真空镀膜、真空冶金、加速器装置等。

总结：
好利旺ORION KHH251-101高真空干泵凭借其全无油、耐污染、高可靠的核心特点，已成为苛刻工艺环境下真空获取的标准解决方案之一。它将强大的抽气性能、出色的过程兼容性与智能化控制相结合，在保障制程洁净度的同时，显著降低了维护成本和停机风险，是推动先进制造业发展的关键基础装备。