【池田屋商社】ANELVA佳能 TG-550C 热电偶测量管

【池田屋商社】ANELVA佳能 TG-550C 热电偶测量管

【池田屋商社】ANELVA佳能 TG-550C 热电偶测量管

ANELVA佳能TG-550C热电偶测量管是一款应用于高真空与半导体工艺设备中的精密温度测量组件。它并非一个独立的仪器，而是集成于真空腔体（如化学气相沉积CVD、物理气相沉积PVD设备）内部的关键传感器部件，专门设计用于在严苛的真空和高温环境下，直接、实时、准确地监测基片台（加热器）或腔体特定位置的温度。

其核心功能与价值在于为实现精密的工艺温度控制提供最前端的数据反馈。在许多薄膜沉积、刻蚀或热处理工艺中，温度是影响薄膜质量、成分、结晶状态和工艺重复性的决定性参数之一。TG-550C通过其内部精良的热电偶传感元件，将感知到的温度转化为对应的微电压信号，传输至外部的控制器或读出仪表，从而构成闭环温度控制系统的“感知神经末梢”。

该型号产品通常具备以下典型特征：

1. 卓越的真空兼容性与可靠性：采用全金属（如不锈钢）密封结构，确保在超高真空环境下长期稳定工作，无放气污染风险，满足半导体行业对洁净度的苛刻要求。

2. 耐高温与高精度：选用特定类型（如K型）的铠装热电偶材料，能够耐受工艺所需的高温（具体范围需参考规格书，通常可达数百摄氏度），并提供良好的温度响应与测量精度。

3. 坚固的机械设计：其管状结构坚固，能够承受一定的机械应力，并通常配有标准的真空法兰接口（如CF法兰），便于在腔体壁上安装和密封。

4. 精准的定位安装：测量端（热端）的设计使其能够被精确安装到最需要监控温度的关键位置，确保测量数据能真实反映工艺区域的温度状态。

总而言之，ANELVA佳能TG-550C热电偶测量管是高端真空制造装备中不可或缺的“温度之眼”。它的稳定与精确，直接保障了诸如晶圆镀膜、光学镀膜、材料研究等高端工艺的可控性与重复性，是提升产品良率和工艺水平的基础硬件保障。选择此类产品时，需严格匹配其温度范围、真空度要求、安装尺寸以及与设备控制系统的兼容性。