原装进口！！EBARA荏原 两级螺杆 凸轮式增压泵 EST10N
2025-07-18 18:11:56
admin
原装进口！！EBARA荏原 两级螺杆 凸轮式增压泵 EST10N
原装进口！！EBARA荏原 两级螺杆 凸轮式增压泵 EST10N
描述
选项：
各种增压器和排气热配置（取决于工艺）
空闲模式（绿色能源模式）
硬件：抗震支架
泵系统——集成机架解决方案
泵安装升降机
可重复使用的运输箱
特征
无油
低能耗：高性能无刷直流电机
紧凑/轻便，占地面积小
根据工艺应用配置各种泵
低拥有成本 [电力、氮气、水、占地面积、体积、重量]
先进的警告和警报数据存储能力
通过可编程 LCD 控制器进行警告设置的实际功能
适用于粉状苛刻和化学腐蚀应用的理想配置（高热特性和抗镍结构材料）
抽气能力强，气体负荷稳定性高
智能转子转速控制功能，实现灵活的气体吞吐量
可变抽速以满足应用要求
先进的控制和监控设备
SEMI S2、CE 和 NRTL
应用
原子层沉积（ALD）
化学气相沉积 (CVD) 工艺，包括 LPCVD、HDP-CVD、SACVD 和 MOCVD
蚀刻
高抽速和高气体负荷要求
快速热处理（RTP）
Specifications - Model EST10N
| Model | EST | EST | EST | EST | EST | EST | |||||
| 10N | 25N | 100WN | 200WN | 300WN | 500WN | ||||||
| Pumping Speed | L/min | 1000 | 2500 | 10000 | 20000 | 30000 | 50,000 | ||||
| Ultimate Pressure | Pa | 2.7 | 0.4 | ||||||||
| Connection | Gas Inlet | NW40 | NW50 | NW100 | ISO160 | ||||||
| Gas Outlet | NW40 | ||||||||||
| Approx. Power at Ultimate Pressure | kW | 2.3 | 3 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | |||||
| Utility | Cooling | Flow rate | L/min | 5~8 | |||||||
| Water | Temperature | ℃ | Max. 30 | ||||||||
| N2 Gas | Approx. Flow rate | Pa•m3/s | 13~18 | 24~29 | 28~31 | ||||||
| N2-0 Mode | |||||||||||
| Power Supply | Phase/Volt/Freq. | 200V Model | 3Phase/200V/50Hz | ||||||||
| 3Phase/200-220V/60Hz | |||||||||||
| 400V Model | 3Phase/380-400V/50Hz | ||||||||||
| 3Phase/380-440V/60Hz | |||||||||||
| Power capacity | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | ||||
| Weight | kg | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | ||||
